Inertatmosphärenöfen, auch anaerobe Öfen genannt, sind für die Wärmebehandlung mit nicht oxidierenden Gasen wie Stickstoff in einer versiegelten Umgebung konzipiert und eignen sich für die Wärmebehandlung in einer Atmosphäre mit niedriger Sauerstoffkonzentration.
Beschreibung
Die Inert Atmosphere Oven-Serie wird in der Halbleiterfertigung zum Vorbehandlungsbacken von Siliziumwafern, Galliumarsenid, Lithiumniobat, Glas vor der PR-Beschichtung, Hartfilmbacken nach der PR-Beschichtung und Hochtemperaturbacken nach der Entwicklung verwendet; Es eignet sich auch für Produktions- und wissenschaftliche Forschungsabteilungen wie elektronische Flüssigkristallanzeigen, LCD, CMOS, IS und Labore; Es kann auch für Trocknungs-, Wärmebehandlungs-, Alterungs- und andere Hochtemperaturtests von nichtflüchtigen, nicht brennbaren und nicht explosiven Gegenständen verwendet werden.
Hauptparameter
►Technische Parameter
Kapazität: Angepasst an die Produkte
Temperaturbereich: Umgebungstemperatur +50 °C bis 250 °C
Sauerstoffgehalt: ≤50 ppm
Temperaturgleichmäßigkeit: ±2,5 %
Anstiegsrate: Steuerbar
Stickstoffeinlass: Φ8
Stickstofffluss: 0–240 l/min * 2 Kanäle
►Struktur
. Innenofen: Aus Edelstahl gefertigt und nahtlos mit Argongas verschweißt.
. Hermetisch versiegelt: Die Kammer ist versiegelt, um den Sauerstoffgehalt zu reduzieren.
. Lufteinlassstruktur: Ermöglicht das Füllen der Kammer mit nicht oxidierenden Gasen.
. O2-Analysator: Passen Sie den Sauerstoffgehalt präzise zwischen 0,5 und 21 % an
► Temperaturkontrollsystem
Intelligenter JAPAN RKC-Temperaturregler, Programme und Festwerteinstellung, AT-Auto-Tuning, Offset-Korrektur und Ausschaltspeicherung.
► Zwangsluftkonvektion
Der patentierte Luftkanal im Warmluftzirkulationssystem kann die Temperaturgleichmäßigkeit automatisch regulieren.
Merkmale für anaerobe (inerte) Öfen
► Hermetisch abgedichtetes Studio aus Edelstahl, um das Eindringen von Außenatmosphäre zu verhindern
► Für die anaerobe Wärmebehandlung Stickstoff-Inertgas verwenden
► Durchflussmesser und Manometer sind ausgestattet
► Mehrfachschutz-Sicherheitsvorrichtungen
Optionen
► SPS+7-Zoll-programmierbare Steuerung
► Dreifarbiger Blinklichtalarm
► Übertemperaturbegrenzer
► Manuelle Sicherheitsvorrichtungen
Warum sollten Sie sich für Öfen mit Inertatmosphäre entscheiden?
Heutzutage sind die Verdrahtungsmaterialien in Schaltkreisen von Aluminium auf Kupfer mit geringerem Widerstand umgestiegen. Daher können Kupferteile bei der Wärmebehandlung in einem normalen Trockenofen oxidieren und Defekte verursachen. Darüber hinaus wird auch eine Alterung bei 250 °C durchgeführt, um zu prüfen, ob die auf den Flash-Speicher geschriebenen Daten durch Elektromigration gelöscht wurden und ob die Höckerteile oxidiert sind, sodass der Sauerstoffgehalt auf <100 ppm reduziert werden muss. Dieser Anaerobofen wurde entwickelt, um diesen Anforderungen gerecht zu werden.
Anwendung
Inertatmosphärenöfen werden hauptsächlich für die Aushärtung von BPO-Kleber/PI-Kleber/BCB-Kleber, IC (Wafer, CMOS, Bumping, TSV, MENS), FPD, hochpräzise elektronische Komponenten und andere Materialien in einer sauerstoffarmen Umgebung für Trocknungs- und Alterungstests verwendet .
